编者按：本文来自微信大众号“MEMS”（ID：MEMSensor），作者麦姆斯咨询殷飞，原文标题《MEMS之父Harvey Nathanson离世，留下名贵遗产》，36氪经授权发布，略有删减。
据麦姆斯咨询报导，公认的微机电体系（MEMS）技能之父Harvey C. Nathanson，于2019年11月22日在匹兹堡逝世，享年83岁。Nathanson出生于匹兹堡的一个药剂师家庭，后来成为美国西屋电气（Westinghouse）研讨试验室的固态电子学前驱。
Harvey C. Nathanson
1950年代，Nathanson幼年时期就经过Hi-Fi邮购套件学习模仿电子学常识。为了忠于自己的兴趣喜好，他拒绝了接手父亲的药房生意，转而就读卡内基技能学院（Carnegie Technical School），也便是后来的卡内基梅隆大学（Carnegie-Mellon University）。
Nathanson从卡内基取得博士学位结业后，加入了西屋电气。1965年，他提出了第一款MEMS器材设想，一种用于微电子固态无线电的微型机械调谐器。Nathanson和Robert Wickstrom、William Newell协作开发了这款器材，并作为一种微电子频率挑选设备申请了的专利。随后，这款器材的改进版作为谐振栅晶体管（RGT）取得了专利，尔后一般被认为是第一款真实意义上的MEMS器材。
Harvey C. Nathanson创造的第一款MEMS器材
MEMS能够运用传统半导体制作工艺来制作，不过，它们探究实践运用的开展相对缓慢。1980年代，当摩托罗拉（Motorola）为某些工业传感运用供给MEMS器材时，它们依然是一种别致的东西。
彼时的半导体工业一向专心于晶体管集成。跟着亚德诺半导体（Analog Devices）在1993年推出ADXL-50类型MEMS加速度计，MEMS总算取得了广泛的商场重视。之后，MEMS跨入了消费电子工业，并在移动电话（手机）范畴斩获了巨大的商场，现在每年的出货量达到了数十亿颗。
跟着MEMS的蓬勃开展，Nathanson持续在西屋电气作业，创造了以献身层技能为特征的外表加工技能。1973年，他取得了运用微型运动反射镜创立视频显现的专利，后来，德州仪器（TI）在其数字光处理（DLP）技能中采用了这种MEMS反射镜阵列，将其用于数字投影仪。
来自MEMS之父的经历
美国国防部愿意为必要的研讨供给满足的预算，这是Nathanson成功开发首款MEMS器材的根底。有鉴于此，Nathanson为未来的创造立异人员提出了一条要害主张：“找一个有满足资金支撑的范畴。”他还主张从事研讨作业的人员逐渐树立自己的名誉，以便能够发掘相关的资源，助力自己的科学研讨。
Nathanson强调了在科学期刊和媒体上发表文章的重要性，这是树立自己名誉的重要一环。Nathanson表明：“假如您能轻松的取得地点范畴的遍及尊重，这有助您取得所需求的研制资金，包含来自政府的资金支撑。”
当然，钱不是全能的。关于真实期望探究未知范畴的人，正如Nathanson其时创造MEMS那样，具有宽广的视界至关重要。因而，Nathanson对研讨人员的第二条主张，是坚持阅览广泛范畴的科技期刊，跟上其他范畴的新开展。“这将为您自己的研讨供给丰厚的思路和创意。”
一般，彻底不同范畴的研讨或能跟咱们的科学研讨碰撞出思想火花，然后创立一种全新的解决方案。不过，一款成功的产品不止是一个好点子，它还有必要为用户和客户带来实践的利益。Nathanson的理念是：“假如您真的想开发一款对用户有实践意义的产品，您需求协作伙伴。”Nathanson主张电子工程师和物理学家，特别要跟体系专家多协作。
毕生痴迷电子学
Nathanson一向对电子学和晶体管技能十分感兴趣。小时候，他运用电源和灯泡做试验，烧毁了不少保险丝。后来，从一位喜好录音技能的朋友那里，他学到了许多有关电子管、麦克风和Hi-Fi体系的常识。终究，他将自己的兴趣喜好变成了作业。在卡内基取得电气和电子工程博士学位之后，他在匹兹堡城外的西屋电气研讨试验室开端了他的作业生涯。他在一个支撑西屋电子体系部分的研讨小组作业，该小组也为美国国防部分开发了许多项目。
1965年，年仅29岁的他受老板William E. Newell博士组织，开发一种用于集成电路的小型化调谐办法。那时的解决方案既不行小，也没有供给所需求的质量。Nathanson的方针是开发一种小型化的机械谐振器。
Nathanson回想称：“新解决方案有必要是低成本的，能够正常的运用现有IC制作技能来出产的，而且还具有输入和输出电路。便是要寻觅一种能够代替现有大型、低质量LC谐振电路的解决方案。我和咱们的技能人员Robert Wickstrom一同，开发、规划并演示了首款谐振栅晶体管，并为其注册了第一批专利，随后投入了样品出产。咱们开发的那款MEMS器材是第一款具有可移动微机电元件的集成电路。”
Nathanson对MEMS的创造并没有使他成为富豪，由于他是作为西屋电气的一名职工而创造的MEMS。不过，他后来在电子范畴的作业生涯也很亮眼。他成为西屋电气Research Labs担任电子器材研讨的首席科学家。在这个人物时期，他为西屋电气和诺斯罗普·格鲁曼（Northrop Grumman）打造了许多立异的国防技能解决方案，后来诺斯罗普·格鲁曼收买了这个研讨小组。
Nathanson说：“创造MEMS给了我很大的自由空间，使我能够在整个作业生涯中进行其他研讨。”2001年，他成为了MEMS Industry Group（MIG，现为MEMS & Sensor Industry Group）的创始人，并一向担任董事会成员，Nathanson在退休后仍以荣誉身份与公司保持着亲近的联络。Nathanson在2001年退休，但并非彻底退休，直到2012年他一向是诺斯罗普·格鲁曼公司的参谋。
2000年，Nathanson凭仗“对社会和电子器材范畴的杰出贡献”而被电气和电子工程师协会（Institute of Electrical and Electronics Engineers, IEEE）颁发千禧奖章（Millennium Medal）。
即便到了80岁高龄，他依然没闲着。他一向重视着宠爱的半导体范畴的开展，例如，Nathanson对新式超微型原子钟在相干RF信号处理中的潜在效果十分感兴趣。Nathanson十分乐于将他的经历共享给我们。他一向热衷于参加有关新主意的讨论。
现在，人们运用Nathanson创造的MEMS在可穿戴设备等范畴拓荒了许多全新的技能运用，但他依然将自己视为一个“传感人”。Nathanson早年估量也没有预料到，他根据对Hi-Fi和收音机作业原理的猎奇，创造出了改动国际的名贵遗产——MEMS。
