DRAM面对打破10nm工艺的应战三大原厂EUV设备导入最新进展

作者:责任编辑NO。卢泓钢0469时间:2020-01-14 14:10:11  阅读:4071+

2019年DRAM原厂技能已进入1Znm,且各家又扩展了三代DRAM,被称为1anm、1bnm和1cnm,其间1anm DRAM或将于2021年推出。

那么,1Znm之后的DRAM技能是否导入EUV工艺成为企业的要点考虑问题,也将是摆开技能距离的重要节点。

在EUV技能中,选用的光波长仅为13.5nm,比ArF(193 nm)短14倍,因而可以将图画分辨率降低到10nm以下,所以DRAM三大原厂三星、美光和SK海力士正在评论EUV导入制程中的时刻点。

其间三星在2019年3月开宣告第三代10nm级(1Znm)工艺DRAM,传已在制作中整合了EUV极紫外光刻技能。SK海力士正在新工厂内建置EUV设备,下半年可竣工,并评价导入EUV量产1anm级DRAM的时刻

美光科技在2019年不只已开端大规模出产1Znm 16Gb DDR4产品,1Znm DDR5产品也现已送样。依据美光DRAM技能规划,下一代微细化工艺技能被命名为1α,1β和1γnm。据韩国媒体称,美光推延了EUV的导入,或许推延至1γnm技能之后,时刻表暂不确认。

美光DRAM产品工程高档总监Debra Bell曾表明,未来几年来咱们的开展很明晰,也还有其他主意,正在评论并对此进行评价。

在NAND Flash范畴,10nm是2D技能量产的极限,没有打破10nm各家原厂就纷繁转向了3D架构,现在三星、SK海力士已揭露宣告量产128层3D NAND;在逻辑芯片制作范畴,以台积电和三星为代表,现已引进EUV技能,其间台积电5nm将在2020上半年量产,且正在研制3nm技能及更先进的技能。

在DRAM范畴,全球三大DRAM原厂要打破10nm物理极限,有必要导入EUV工艺,全球最大芯片光刻设备厂商ASML表明,逻辑芯片已导入EUV设备,下一波将是DRAM客户活跃预备EUV导入量产阶段,推进EUV需求继续不断的添加。

现在DRAM现状是,跟着5G网络加快速度进行开展,从2019下半年开端,数据中心、企业级范畴装备的存储需求逐步转强,再加上部分原厂在2019上半年减产的原因,导致DRAM价格在年末提价,且涨势延续到2020年头。

就现在DRAM原厂的规划,因为手机内嵌LPDDR容量晋级较NAND Flash没那么快,所以原厂均将新工厂扩产的主力会集在NAND Flash上,DRAM扩产动作并不显着,所以DRAM主要是依靠技能晋级来进步产值。现在DRAM商场排名依次是三星、SK海力士、美光,若三星和SK海力士充沛的使用EUV工艺量产,对美光而言将晦气,距离恐进一步扩展。

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