氧气生成原理：空气中一般氧气含量21%，氮气含量78%，其它气体1%。制氧机主要采用纳米分子筛技术。布满无数超微孔的分子筛有着极强的吸附能力，利用氧分子筛在一定压力下对空气中的N、O不同的吸附能力，采用国际上比较先进的物理吸附分离原理--PSA变压吸附技术。加压吸附（氮气吸附在分子筛微孔中，氧气则穿其而过），常压解吸（排出被吸附的氮气），周而复始，达到连续不断地从空气中分离高纯度氧气的目的。从而将氧气浓度从21%提升到90%以上。制氧机主要采用两塔分离技术，应用性能优良的PSA专用氧分子筛，无油空气压缩机以及气动阀控制系统，进行有效分离氧气。
臭氧发生器采用氧气源好处：
臭氧发生器采用氧气源是臭氧技术的一个重大进步。和采用空气源相比，氧气气源使臭氧发生器臭氧功能发生巨大变化。
1．氧气源使臭氧出口浓度提高8-10倍。空气源臭氧发生管出口浓度最高为9-11mg/L,最低小于1mg/L。而采用氧气，出口浓度可达80-130mg/L。
2．氧气源使臭氧杀菌或氧化能力大大提高。高浓度氧气产生高浓度臭氧。从而使臭氧杀菌或氧化能力大大提高。有些细菌病毒用空气源臭氧很难杀死，采用氧气源臭氧就很容易杀死。有些化合物只有采用氧气源臭氧才能氧化。
3．氧气源使臭氧产量提高3-5倍。氧气源臭氧发生器比空气源臭氧发生器提高产量3-5倍。大大提高了臭氧发生管的利用效率。
4．氧气源没有氮化物污染。臭氧管采用空气源时，因为空气中含78%的氮气，所以在产生臭氧的同时会有氮化物产生。而采用氧气源避免了氮化物的产生。
5．氧气源系统体积小。臭氧发生器采用空气源，气体的前期处理结构庞杂，结构比氧气源臭氧发生器至少大3倍，耗电相应增加，最终导致成本增加，维护费用增加。采用制氧机提供氧气，臭氧浓度大大提升，综合造价大大降低。
选用不同氧气源使用比较：
采用氧气源的臭氧机得到了快速发展。目前氧气源主要有四种方式：氧气瓶，医疗家用制氧机，臭氧专用制氧机，分体式制氧系统。
1．医用氧气瓶：优点是一次性投入少，氧气纯净。缺点是氧气瓶是消耗材料，需经常换氧气瓶。长期运行成本高，要经常更换，使用起来比较麻烦。在氧气瓶充足场合可以使用氧气瓶。
2．医疗家用制氧机：采用分子筛技术，利用空气作为原料，通过分子塔生成高浓度氧气．氧气浓度在90%以上。优点是设备容易获得。和氧气瓶相比，没有消耗，不用经常换氧气瓶。缺点是该设备本来用于家庭医疗不是臭氧专用设备，不能长期连续运行，不耐臭氧，不耐潮湿。通常是3L-5L/分钟产量。
3．臭氧专用制氧机：采用分子筛技术，利用空气作为原料，通过分子塔生成高浓度氧气．氧气浓度在90%以上。采用防腐蚀材料，气源深冷，多级除湿装置。整个设备耐腐蚀，耐潮湿，温升低。
4．分体式制氧系统：用于大型臭氧发生器配套气源。采用独立压缩机，冷干机，分子塔，储氧罐，电气控制柜等。最小产量每小时1立方米，最大产量每小时可达300立方米。造价高，系统复杂，体积庞大。
